工作气体用于在电磁场的作用下激发等离子体，属于亲水性材料是与物体表面发生物理化学反应，达到清洗的目的。超声波清洗机是主要进行清洗的湿式清洗机。明显的灰尘和污染物，属于粗洗。它是利用液体（水或溶剂）在超声波振动的作用下对物体进行清洗，以达到清洗的目的。使用目的不同。等离子清洗机主要是为了提高清洗产品表面的粘合效果。作品表面不一定要清洗，但比不使用时的粘合效果要高一些。 ..超声波清洗机主要用于清洗工件表面，提高表面的清洁度。
偏置侧壁过窄会导致高重叠电容，极性属于亲水性还是疏水性恶化短沟道效应；偏置侧壁过宽，重叠电容小，会引起驱动电流下降。同时，时延会随着偏置侧壁宽度的增加而减小，但达到一定规模后会恶化。因此，偏置侧壁的宽度应仔细优化，以确保优良的器件性能。在90nm以前的工艺中，等离子体清洗设备电容耦合等离子体(CCP)介质刻蚀机主要用于刻蚀偏置侧壁。这类设备属于高压下工作的低密度等离子体设备，刻蚀均匀性和工艺稳定性相对较差。
等离子处理器的优点及作用（1）经过等离子处理后，属于亲水性材料是清洗的物体已经很干燥，不必再干燥；（2）不使用有害溶剂，不产生有害污染物，属于有利于环境保护的绿色清洗方式；（3）无线电波范围内高频产生的等离子体方向性不强，可穿透物体的微孔和凹陷处，特别适用于电路板生产中盲孔和微孔的清洗；（4）整个清洗过程可在几分钟内完成，具有效率高的特点；（5）等离子清洗最大的技术特点是：不分处理对象，可以处理不同的基底；如金属、半导体、氧化物和高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、四氟乙烯、...
